XETパターン検査装置



XET-SIMPLE

分解能 〜2μm ガラスマスク・フィルムマスク検査装置 
累計出荷台数約500台以上のベストセラー機の後継機種です。

従来のシリーズに加えオートフォーカス機能が標準装備となりました。
FPT-8000シリーズ・fast-FINEシリーズの置き換えに最適です。

検査時間(分解能2μm 500x500において)
FPT8000シリーズの約3倍
fast-FINEシリーズの約1.5倍

さらに今まで弊社検査装置をご利用いただいているお客様に限り、既存装置の無料引取りまたは、当社規定による無料メンテナンスを行います。

詳しくは弊社営業担当または、代理店までお気軽にお尋ねください。
カスタマイズもお気軽にご相談ください。


XET-BASIC

分解能 〜2μm  ガラスマスク・フィルムマスク検査装置
SIMPLEタイプに加え、データ比較、Die比較検査が可能となるタイプです。
ワーク自動回転機構やオートフォーカス機構も標準装備となり


XET-MICRON

分解能 〜1μm(比較検査) ガラスマスク・メタルマスク検査装置
BASICよりさらに比較検査分解能を向上しました。


XET-NANO

分解能 〜0.15μ ガラスマスク検査装置
高分解能の検査を行います。データ比較(GDSU)・Die比較検査・DRC検査を行います。
ワークサイズ350x350以内


XET-SPECIAL

カスタマイズ品
お客様のご要望に応じて画像処理〜メカ設計までカスタマイズ致します。